MÁY PHÂN TÍCH MICRO ĐẦU DÒ ĐIỆN TỬ (EPMA)

Máy phân tích micro đầu dò điện tử (EPMA) là một trong những thiết bị phân tích hợp chất rắn bằng cách sử dụng chùm tia điện tử tăng tốc và tập trung chiếu vào mẫu, dẫn đến một loạt các va chạm giữa chùm tia điện tử và nguyên tử của các nguyên tố có trong mẫu.

Hình 1. Hình ảnh mô tả quá trình chùm tia điện tử tăng tốc và tập trung chiếu vào mẫu

Thông thường, hầu hết các thiết bị phân tích chỉ có thể phân tích định tính và định lượng, nhưng Máy EPMA còn có thể làm được nhiều hơn như thế. Bên cạnh việc thực hiện đầy đủ phép phân tích định tính và định lượng ở diện tích rất nhỏ cỡ micro trên bề mặt mẫu, EPMA còn cho phép lập bản đồ phân bố các nguyên tố hóa học có trong vật liệu, phân tích pha và phân tích trạng thái vật liệu.

Hình 2. Kết quả phân tích định tính định lượng bằng máy EPMA

Hình 3. Kết quả lập bản đồ phân bố các nguyên tố hóa học có trong mẫu

Về cơ bản, EPMA là thiết bị giống kính hiển vi điện tử quét (SEM) với khả năng phân tích của máy phân tích thành phần nguyên tố (EDS). Song, EPMA mang đến kết quả tốt hơn rất nhiều so với SEM/EDS khi được trang bị ứng dụng của bộ WDS, độ nhạy và độ phân giải phổ cao hơn.

Hình 4. Model EPMA-1720H và EPMA-8050G phổ biến của hãng Shimadzu

Ngày nay, EPMA được sử dụng rộng rãi trong các phòng Quản lý chất lượng (QA, QC), Nghiên cứu và phát triển (R&D) của nhiều ngành công nghiệp như mô tả trong bảng dưới đây:

Quý khách hàng quan tâm đến sản phẩm này của hãng Shimadzu, xin vui lòng liên hệ với chúng tôi để được tư vấn chi tiết.

(Tham khảo từ chuyên mục Ứng dụng của hãng Shimadzu)

Nguồn: ETA